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張曉東?蘇州納米所供圖

2009年，中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所（以下簡稱蘇州納米所）納米加工平臺正式對社會開放服務，急需運維工作人員。

那一年，張曉東碩士畢業，甫一加入蘇州納米所，就一頭扎進納米加工平臺的超凈實驗室，一干就是15年。

15年的光陰讓張曉東從一名普通工藝員成長蛻變為平臺的科研骨干，也讓他收獲了中國科學院技術支撐人才、蘇州創新創業好青年等榮譽稱號，以及江蘇省五一勞動獎章，并讓他在2024年榮獲全國五一勞動獎章。

與平臺共同成長

張曉東見證了納米加工平臺的不斷完善，納米加工平臺也成就了他的成長。張曉東不僅負責平臺的電子束金屬蒸發、化學機械研磨拋光、磁控濺射薄膜沉積、電感耦合等離子體刻蝕等系列設備的日常運營及管理，還積極開展工藝開發與積累、標準化工藝制定與推廣、技術培訓與人才培養等工作。

為進一步提升納米加工平臺服務能力，張曉東根據科研和產業發展需求，在經費和場地有限的條件下，建成國內首條開放性8英寸氮化鎵Micro-LED工藝線，加速了Micro-LED微顯示芯片國產化的進程，為建成國內知名、行業著名的半導體芯片加工與封裝多功能公共服務平臺作出了重要貢獻。

目前，納米加工平臺已建成超凈實驗室1萬余平方米、各類半導體工藝加工設備300余臺套，支持硅基傳感器、化合物半導體、寬禁帶半導體以及生物芯片等領域的創新研發，是中國最具特色的納米技術公共服務平臺。

平臺每年支撐數百家高校、科研院所和企業進行科學研究、技術開發和人員培訓等，推動相關產業增加產值數十億元，為新一代信息科技發展輸送了大量技術與人才，有力支撐了國家創新體系發展，已成為蘇州納米所在半導體微納加工領域的名片。

以國家需求為方向

半導體技術是現代信息科技和數字經濟的核心與基石，在推動國家發展、社會進步、保障國家安全等方面具有戰略性作用。

面向國家對半導體核心基礎元器件的需求，張曉東潛心開展氮化鎵、氧化鎵等寬禁帶材料與器件研究，開發出具有自主知識產權的增強型氮化鎵高電子遷移率晶體管技術，一舉榮獲“率先杯”未來技術創新大賽總決賽最高獎。

面向新型信息顯示系統對顯示芯片的實際需求，張曉東團隊攻克高亮度Micro-LED微顯示芯片的多項技術難點，研制出具有高亮度、高發光效率與優異色彩表現的超高分辨率Micro-LED微顯示芯片。

針對現有超寬禁帶半導體氧化鎵薄膜與器件存在的突出問題，張曉東團隊開發了高質量氧化鎵薄膜的異質和同質外延生長技術，制備了性能優異的日盲紫外探測器和功率電子器件，達到國際先進水平。

面向國家重大任務支撐保障的需求，張曉東參與超導轉變邊沿探測器的版圖工藝設計和器件制備等工作，進行了低溫超導探測芯片等器件的關鍵工藝開發，并制備出相關原理樣機，攻克了關鍵半導體元器件“卡脖子”技術。

人才是創新的核心支撐

“創新需要平臺的支撐，更離不開人才的培養。”張曉東深知人才培養的重要性，他希望通過努力培養出更多的“勞模工匠”。

2011年，蘇州工業園區納米技術人才公共實訓基地建立。張曉東講授了Micro-LED技術與微顯示芯片、超寬禁帶半導體材料與器件等課程，培訓了一大批納米技術高技能人才。

作為博士生導師，張曉東十分注重學生開放性學習思維的培養，堅持以問題為先導，調動創新內驅力、發揮主觀能動性，不斷拓展知識的深度和廣度。同時，他還鼓勵學生獨立思考、培養批判性思維，多視角發現問題、多維度分析問題，將創新實踐融入到解決實際問題中。

辛勤的付出換來了豐碩的成果。張曉東指導的學生先后獲得“華為杯”第四屆中國研究生創“芯”大賽全國總決賽三等獎、第八屆中國國際“互聯網+”大學生創新創業大賽全國總決賽銀獎、第十三屆“挑戰杯”中國大學生創業計劃競賽全國總決賽銀獎等榮譽。

（原載于《中國科學報》?2024-12-18?第4版?綜合）