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上海微系統所牽頭制定的《石墨烯薄膜的載流子遷移率和方塊電阻測量:霍爾棒法》國際標準發布

2025年12月03日 上海微系統與信息技術研究所
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近日,國際電工委員會納米電工產品與系統技術委員會(IEC/TC 113)正式發布國際標準IEC TS 62607-6-23:2025?Nanomanufacturing - Key control characteristics - Part 6-23: Graphene-related products - Sheet resistance, carrier density, carrier mobility: Hall bar method(納米制造關鍵控制特性第6-23部分:石墨烯相關產品—方塊電阻,載流子濃度,載流子遷移率:霍爾棒法)。

該標準由中國科學院上海微系統與信息技術研究所牽頭并組織編制,中國科學院國家納米科學中心、深圳市標準技術研究院、泰州巨納新能源有限公司以及來自德國、韓國、加拿大的專家參與制定工作。

該標準首次在國際上建立了基于霍爾棒法的標準化測量流程,規定了石墨烯霍爾器件的樣品制備、電極制作、保護層沉積、等離子體刻蝕等關鍵工藝步驟,提出了適用于低成本、高效率制備的硬掩模工藝。此外,標準中還明確了測量系統的配置要求、環境條件、數據分析和結果報告格式,為石墨烯薄膜在透明導電膜、柔性電極等應用中的質量控制和產品開發提供了科學可靠的測量依據。

打印 責任編輯:吳昊

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